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制冷无油真空泵借助于外置冷却器使气体自动进行循环冷却转子与泵体，泵可在很高的压差下连续工作，而不会发生热过载，泵可直接排大气。该泵具备普通真空泵的诸多优点，可与前级泵串联使用，也可单独使用。
当泵单独使用时，可直接利用排气口低温的大气返回泵内冷却而不使用冷却器，大泵可获得约130百帕的真空。（制冷无油真空泵
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